开源设备软件框架 诞生于泛半导体高端装备制造领域

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发表于 5 天前 | 显示全部楼层 |阅读模式

丰富的工业控件

  • 可视化拖拽编辑,配置非常方便。

辅助功能高效设计

  • 配置化功能增添可视化设计工具,设计更高效。

多机械手流片

  • 灵活的调度配置,满足流片要求

应用场景广泛

广泛应用于泛半导体设备、非标自动化设备及其他工业控制领域。具体应用实例如下:

以下为可公开的典型应用设备:

  • 湿法去胶清洗设备:用于半导体制造中的清洗环节。

  • 匀胶显影设备:用于光刻工艺前的涂胶及显影。

  • PECVD设备:等离子体增强化学气相沉积设备,用于薄膜沉积。

  • MOCVD设备:金属有机物化学气相沉积设备,主要用于化合物半导体材料生长。

  • PCB热熔设备:用于印刷电路板制造中的热熔工艺。

  • 在线检测设备:用于生产线上的自动化质量检测。

以下为保密要求,暂不展示图片的典型应用设备:

  • 激光开槽设备
  • 刀轮切割设备
  • 隐型改质切割设备
  • CMP设备(化学机械抛光设备)
  • 准分子巨量转移设备

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